重生千禧大玩家 第696节

尹志尧回答说：“已经按照陆总的要求，和中电科、春城光机、华为、中芯等单位建立合作关系，成立光刻机联合攻坚联盟。”

“嘿嘿，其实我们只是配合。”

尹志尧一五一十汇报，上头在“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项中，把EUV光刻技术列为“32－22nm装备技术前瞻性研究”重要攻关任务，春城光机作为牵头单位，虽然有中科院、沪市光学精密机械研究所等科研单位技术支持，但仍然势单力薄。

尤其是，只恨财力不足！

“所以我拉上了中电科、华为、中芯。”

“是的，我们现在正在攻克65nm刻蚀技术，追上国际第一梯队，到那个时候，在存储芯片领域，就再也不怕被国外卡脖子。”

陆飞昂着下巴，一脸自信。

跟手机的逻辑芯片不同的是，存储芯片无论是Dram内存还是NAND闪存，对于制程要求并不高，生产制造的核心设备，也不完全依赖像ASML的EUV光刻机。

3D NAND闪存，更因为难度极高，提升密度完全靠对堆栈层数，就更需要成熟落后的工艺保证可靠性，反而不能上先进工艺。

比如长江存储的3D闪存，就是90nm制造工艺，而不是国际一流的65nm。

陆飞语气坚定，“光刻机从前国内一直以来只有微电子一家，跟集美日欧韩产业链于一体的AMSL，不光体量上，数量上就不是一个级别，绝对不能让微电子孤军作战。”

“你们有没有信心追上国际先进水平？”

沙领导左看看，右看看。

尹志尧和陆飞互看一眼，信誓旦旦说：

“不要掉以轻心，芯片制造除了刻蚀机，还有光刻机，这方面我们落后了国际一两代。”沙领导笑着提醒。

“您放心，存储芯片这块，刻蚀机比光刻机更重要，只要有中微在，长江存储暂时非常安全，至于光刻机，微电子已经造出90nm的光刻机，复芯、长江存储采购了4台。”

陆飞伸出了四根手指，“而且中微现在也上马了光刻机项目，正在攻克90nm。”

“你们还准备研发光刻机？”

沙领导不由一惊。