第189章 光刻机
罗念中惊讶的看着张如京,不知道他为什么要这么说,现在远东集团手里有佳能26.7%的股份,是佳能最大的股东,完全不用担心佳能卡脖子。
看着罗念中时常皱眉,张如京也不在讲解光刻过程。
“在光刻机里最重要的就是镜片和光源。
佳能此前虽然是做相机镜头的,在精密测量部分远不能和尼康还有蔡司相比。
不过它们有光学基础,在我们资金的投入下已经完成了突破”。
这点罗念中倒是知道。在1976年的的时候岛国通产省就制定了一个VLSI计划,就是为了推动产业升级。
第二步是旋转涂胶,把光刻胶滴在硅片中央,通过硅片的高速转动把光刻胶摊开,再以较慢的速度旋转把胶体厚度稳定,有点类似于摊煎饼。
这个过程大部分的光刻胶都会被甩出去浪费掉,只留下一层均匀的胶体相当于给硅片贴了一个膜。
接下来就是第一次烘焙,也叫做前烘。
目的是减少光刻胶中溶剂含量让其更加坚固浓稠,提高与硅片附着的稳定性。
前烘完成后,光刻机登场对硅片对准与曝光。
光刻机也是一部分,是1978年才开始准备实行的项目。
本来通产省是让尼康和佳能分别仿制高端和低端的光刻机,可是那个时候佳能和富士财团正在和罗念中谈合作的事宜,这件事被罗念中强行叫停了。
佳能对于这个现在还不怎么赚钱的市场也不看好,也就拒绝了通产省算是对罗念中表达了一番诚意。
就是现在远东半导体研究的光刻机很大一部分都是来自于佳能十年前的技术累计。
见罗念中不说话,张如京犹豫了一下说道“我们有没有可能整体收购了佳能?”
硅片在光刻机出来后还要进行一次烘焙,也就是后烘。
目的是通过加热让光刻胶中的光化学反应充分完成,可以弥补曝光强度的问题。
第六步就是显影和冲洗,基本是用去离子水完成。
最后就是检查和测量。
说实话罗念中对于这些是一窍不通,就算是张如京已经简便的的介绍这个过程了,还是一知半解大概能听懂的样子。